Описание

Сегодня оптическая промышленность России вышла на мировой рынок, а значит, обязательно требуется сертифицировать продукцию, для чего пользуются прецизионными интерферометрическими методами. Качество оптических систем определяется возможностью изготовления элементов заданной формы (допускаемые при этом отклонения могут составлять до 1/100 длины волны света независимо от формы и размера детали).

Специалисты института предлагают проверку качества оптических элементов выполнять с помощью дифракционных оптических элементов или синтезированных голограмм, записываемых прецизионно координатно-управляемым сфокусированным лазерным пучком. Для реализации этой задачи разработана круговая лазерная записывающая система (КЛЗС). В КЛЗС подложка с регистрирующим материалом вращается аэростатическим шпинделем, а сфокусированный пучок аргонового лазера (диаметром 0,5 мкм) перемещается вдоль радиуса подложки с точностью 0,1 мкм. Модуляция мощности пучка осуществляется синхронно с вращением подложки.

Технические параметры изготавливаемой дифракционной оптики:

Максимальный размер дифракционного элемента 300 мм

Минимальные размеры структуры:

- Амплитудный элемент 0.5-1 мкм

- Фазовый элемент (бинарный профиль) 1-2 мкм

- Фазовый элемент (произвольный профиль) 4-8 мкм

Рабочая длина волны от УФ до ИК

Точность выполнения структуры элемента 0.1 мкм

Тип подложки Стекло, кварц, ситал, Si, Ge и т.д.

По согласованию с заказчиком возможно изготовление элементов с иными техническими характеристиками.